代表委託先 Program management by
 財団法人 大阪科学技術センター
Osaka Science & Technology Center |
|
|
実施体 Program conducted by
クラスターイオンビーム
プロセステクノロジー集中研究体
Collaborative Research Center for
Cluster Ion Beam Process Technology
 |
|
 |
実施体 Program conducted by
 次世代量子ビーム
プロセステクノロジー集中研究体
Collaborative Research Center for
Advanced Quantum Beam Process Technology
|
経済産業省 新製造技術プログラム
Ministry of Economy, Trade and Industry Novel Manufacturing Technology Program
クラスターイオンビーム
プロセステクノロジー
Cluster Ion Beam
Process Technology
 
|
|
|
独立行政法人